日前,上海市計量測試技術研究院材質中心承擔的上海市科委標準專項《微納功能器件表面微區測量和粒度分析方法研究及其相關國家標準的制訂》(11dz0502100)通過了項目驗收。
隨著我國新材料研發產業和先進制造業的快速發展,納米功能器件已廣泛應用于太陽能電池、集成電路、LED光電材料和高性能信息存儲器等領域,微納米功能器件事業日新月異。我國在納米功能器件領域的研究具有一定的發展優勢和規模,因此開展納米器件標準測量方法研究十分迫切。
本項目通過對微納功能器件測量方法研究,完成了《表面化學分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率測定》和《粒度分析單顆粒的光學測量方法第2部分液體顆粒計數器光散射法》2項國家標準的編寫,現正報批。如果該2項國家標準順利頒布實施,將為俄歇電子能譜、X射線光電子能譜和液體顆粒計數器等納米檢測儀器提供統一的標準測量方法,有效地保證各單位間測量結果的準確性、可比性,能夠對獲得更為精確的納米器件測量表征結果提供技術支持,保障我國納米功能器件等新材料產業的快速發展。
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